專(zhuān)門(mén)針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)的微波在線(xiàn)片式真空等離子清洗機(jī),針對(duì)半導(dǎo)體芯?粘接前處理、塑封前處理、光刻膠去除、?屬鍵合前處理。等離子體不帶電,不對(duì)精密電路造成損害,采用磁約束方式,可兼容微波結(jié)和磁路。
了解詳情更多產(chǎn)品SPR-08是一款基于電感耦合等離子體技術(shù)的自成一體的原子發(fā)生器,它的功能是用于半導(dǎo)體設(shè)備工藝腔體原子級(jí)別的清潔,使用工藝氣體三氟化氮(NF3)/O2,在交變電場(chǎng)和磁場(chǎng)作用下,原材料氣體會(huì)被解離,從而釋放出自由基,活性離子進(jìn)入工藝室與工藝室上沉積的污染材料(SIO/SIN)或者殘余氣體(H2O、O2、H2、N2)等物質(zhì)產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng),聚合為高活性氣態(tài)分子經(jīng)過(guò)真空泵組抽出處理腔室,提高處理腔室內(nèi)部潔凈度。
了解詳情更多產(chǎn)品晟 鼎 | PLASMA處理及性能檢測(cè)方案
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