- 產(chǎn)品概述
- 規(guī)格參數(shù)
- 硬件選配
ST-3100等離子去膠機(jī)采用高密度低損傷等離子源設(shè)計，采用獨(dú)立腔室結(jié)構(gòu)設(shè)計，實現(xiàn)均勻的流暢分布，去膠均勻性表現(xiàn)優(yōu)異。
應(yīng)用范圍
離子注入后光阻去除
表面殘留物清除
刻蝕后表面清潔
聚合物去除
BAW/SAW工藝中的光阻去除
產(chǎn)品優(yōu)勢
暫無數(shù)據(jù)
設(shè)備整體參數(shù)
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型號
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ST3100 ST3200
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PLASMA電源
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RF RF
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尺寸（L*W*H）
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1300*1190*1847mm 1300*1650*1850mm
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適用范圍
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4-8寸 4-8寸
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單次處理片數(shù)
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1 2
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