| 型號SPV-100 | 外形尺寸900*1750*1000mm（寬*高*深） |
| 重量 500KG | 設備外觀顏色銀灰色 |
| 射頻電源 | |
| 功率0~600W | 頻率13.56MHz |
| 中頻電源 | |
| 功率0~2000W | 頻率40KHz |
| 腔體內(nèi)部尺寸450*450*500mm（寬*高*深） |
| 厚度25mm |
| 材質(zhì)鋁合金（可定制不銹鋼腔體） |
| 密封性軍工級焊接密封 |
| 電極板有效尺寸322*351mm（寬*深） |
| 可用空間間距22.5mm |
| 工作空間8層 |
| 工作托盤標配一套，材質(zhì)可選配（鋁材、鋼絲網(wǎng)） |
| 電極板布置方式水平布置，可活動抽取 |
| 雙級旋片泵（油泵）60m3/h |
| 真空管路全不銹鋼管路，以及高強度真空波紋管 |
| 流量范圍0~300SCCM | 工藝氣體氣路標配兩路，可定制 |
| 系統(tǒng)控制PLC | 交互方式7寸觸控屏幕 |
