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SPV-24M微波在線片式真空等離子清洗機(jī)

產(chǎn)品對比

SPV-24M.png

SPV-24M微波在線片式真空等離子清洗機(jī)

專門針對半導(dǎo)體行業(yè)的微波在線片式真空等離子清洗機(jī)，針對半導(dǎo)體芯?粘接前處理、塑封前處理、光刻膠去除、?屬鍵合前處理。等離子體不帶電，不對精密電路造成損害，采用磁約束方式，可兼容微波結(jié)和磁路。

設(shè)備參數(shù)
型號(hào)SPV-24M
設(shè)備尺寸2308*1360*2064mm（長*寬*高）
微波電源 雙微波電源2000W
容積約24L
清洗產(chǎn)品范圍 80-280mm*25-90mm（長*寬）
料盒尺寸范圍180-290mm*28-93mm*200mm（長*寬*高）
真空泵干泵
氣路配置 標(biāo)配氧氣、氬氣兩路工藝氣體（可定制CF4氣體）
系統(tǒng)控制工控系統(tǒng)

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